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News Center數(shù)字式四探針測試儀/四探針電阻率檢測儀/方阻儀型號(hào):TRST-2253
TRST-2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量半導(dǎo)體材料的電阻率,測量擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方阻)。換上特制的四探針測試夾具,還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測量。
儀器由主機(jī)、測試探頭(可選配測試臺(tái))等部分組成,測試結(jié)果由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機(jī)由配套軟件在PC機(jī)上操作,其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打印!
主機(jī)主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。
儀器于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別于要求快速測量中低電阻率的場合。
三、基本技術(shù)參數(shù)
3.1測量范圍
電 阻率: 10-4~105Ω-cm
方塊電阻: 10-3~106Ω/□
電 阻:10-4~105Ω
3.2可測半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑: Φ15~100mm, 長(或高)度: ≤400mm
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數(shù)字電壓表:
⑴量程: 200mV
⑵誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
2.5數(shù)控恒流源
⑴電流輸出:直流電流 0~100mA 連續(xù)可調(diào),由交流電源供電。
⑵量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
⑶誤差:±0.5%讀數(shù)±2 字
2.6四探針測試探頭
⑴探針間距 1mm
(2)探針壓力: 0~2kg 可調(diào),zui大壓力約 2kg
(3)探針:碳化鎢,Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
2.8.外形尺寸:
主機(jī) 260mm(長)×210 mm(寬)×125mm(高)