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四探針電阻率檢測儀/

更新時(shí)間:2018-05-18點(diǎn)擊次數(shù):446

數(shù)字式四探針測試儀/四探針電阻率檢測儀/方阻儀型號(hào):TRST-2253  
TRST-2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量半導(dǎo)體材料的電阻率,測量擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方阻)。換上特制的四探針測試夾具,還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測量。 
  儀器由主機(jī)、測試探頭(可選配測試臺(tái))等部分組成,測試結(jié)果由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機(jī)由配套軟件在PC機(jī)上操作,其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打印! 
  主機(jī)主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。 
  儀器于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別于要求快速測量中低電阻率的場合。 
三、基本技術(shù)參數(shù) 
3.1測量范圍 
電 阻率:    10-4~105Ω-cm 
方塊電阻:  10-3~106Ω/□ 
電  阻:10-4~105Ω 
3.2可測半導(dǎo)體材料尺寸 
直  徑:  Φ15~100mm, 長(或高)度:  ≤400mm 
2.3測量方位:  
軸向、徑向均可 
2.4.   4 1/2 位數(shù)字電壓表: 
⑴量程: 200mV 
⑵誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字 
2.5數(shù)控恒流源 
⑴電流輸出:直流電流 0~100mA 連續(xù)可調(diào),由交流電源供電。 
⑵量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 
⑶誤差:±0.5%讀數(shù)±2 字 
2.6四探針測試探頭 
   ⑴探針間距 1mm 
(2)探針壓力: 0~2kg 可調(diào),zui大壓力約 2kg 
(3)探針:碳化鎢,Φ0.5mm 
2.7.電源 
輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗:<20W 
2.8.外形尺寸: 
主機(jī)  260mm(長)×210 mm(寬)×125mm(高)